電子工業生產線上的靜電及其危害

電子工業生產線上的靜電及其危害

　　1.靜電感應的危害

　　受靜電感應的物體與帶電體完全等價，并有靜電力學現象和放電現象的發生，如果感應物體的電阻是較小良導體時，還會發生火花放電而造成危害。

　　A、生產操作的車間里。

　　高電壓設備、線路附近，人員在操作焊接、擺弄MOS器件或MOSIC時，由于靜電感應，極易引起人體對器件的靜電放電，從而損壞器件。

　　B、管道輸送的空調氣流（離子流）,對人體吹風時相當于充電，當帶電人體接觸敏感器件，靜電放電會擊穿損壞器件。

　　2.半導體和IC生產線上的靜電及其危害

　　①穿著尼龍衣、塑膠基底鞋緩慢在清潔地板上走動，人身會帶7KV-8KV電壓

　　②玻璃纖維制成的晶體載料盒滑過聚丙烯桌面時，易產生10KV靜電。

　　③晶片裝配線：晶片5KV,晶片裝料盒35KV,工作服10KV,桌面10KV,有機玻璃蓋8KV,石英晶體1.5KV,晶片托盤6KV

　　④光刻間塑料地面500V-1000V,金屬網格地面也是500V-1000V,擴散間塑料地面500V-1500V瓷磚地面也是500V-1500V,塑料墻面約700V,塑料頂棚0-1000V,鋁板送風口，回風口500V-1000V,金屬活動皮革椅面500V-3000V

　　3.半導體和IC生產線上的靜電危害

　　①靜電庫侖力的危害：靜電庫侖國作用下吸附的粉塵、污物，可能帶給元器件，從而增大泄露或造成短路，使性能受損，成品率大大下降。如粉塵粒徑〉100微米，鋁線寬度約100微米，薄膜厚度在50微米以下時，最易使產品報廢，這種情形多發生在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中

　　②靜電放電引起的危害：如有數千、數萬伏的高電位物體發生脈沖刷形放電或火花放電時，瞬間會有很高的放電電流流向大地時，形成脈沖狀的電流峰位在20A,造成可觀的影響，靜電放電（ESD）還伴隨著電磁波發射，會引起種種危害。

　　A、MOSIC等半導體器件將被靜電放電（ESD）擊穿或半擊穿。MOS場效應管其柵極是從氧化膜引出，柵極與襯底間是隔著一層氧化膜，當柵極與襯底間的電壓超過一定值，氧化膜便被擊穿，如果MOSIC,則全部報廢了當施加電壓于天UB=50-100V,氧化膜便會被擊穿，因為柵極電容很小（約幾個微微法）,輸入阻搞很高（約1014Ω以上）,這樣，少量的電荷就會產生很高電壓，電荷也很難匯漏，只要大于50V（無保護）就會燒毀，所以，只要人手一摸柵極，元件就壞了，因為人帶電超過50V是平常事。

　　我們可以了解到集成電路對靜電敏感性，各種芯片不同之處在于所能承受的耐靜電壓值不同。實際工用條件中，幾乎20V的靜電壓直接接觸器件就足以毀壞或降低性能。

　　B、組裝中要損壞元器件，或造成電子儀器設備故障或誤動作。

　　靜電放電損壞元器件使整塊印刷電路板失去作用，造成經濟損失；

　　靜電放電的噪聲引起機器設備的誤動作或故障一間接放電影響，電容放電測得結果，除產生瞬間脈沖大電流外，還會產生跨越數兆赫茲，甚至數百赫茲的強大噪聲。近年來，靜電放電噪聲引起計算機誤動作的基礎研究取得很大進展。

　　放電時產生的電磁波進入接收機后，會產生雜音，干擾信號從而降低信息質量，或引起信息誤碼。

　　4.對電子設備生產過程的靜電危害

　　整機生產的各個環節都會遭遇靜電破壞。主要環節包括：器件的采購運輸；器件進廠檢驗、驗收；器件儲存、領料；器件插裝、焊接；產品組裝、檢驗；產品包裝，發貨。

　　除電子元件、電子設備生產過程中受到靜電破壞外，就是在產品使用過程中，也會受到靜電的危害。歸納起來，靜電引起的危害足以造成電子器件和電子設備性能失調，其對電子器件、設備危害的狀況不容忽視。

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